健康危害侵入途径：吸入、食入、经皮吸收。健康危害：对呼吸道和眼睛、皮肤粘膜有强烈刺激作用。吸入后可引起咽喉、支气管的痉挛、水肿，化学性肺炎、肺炎、肺水肿而致死。接触工人往往有眼痛、流泪、咳嗽、头痛、恶心、呕吐、喘息、易激动、皮肤发痒等。

危险特性
1.易燃，遇高热、明火或与氧化剂接触，有引起燃烧爆炸的危险。受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。具有腐蚀性。
2.燃烧(分解)产物：一氧化碳、二氧化碳、氧化硅、氯化氢。
3.现场应急监测方法:
4.实验室监测方法:
气相色谱法，参照《分析化学手册》(第四分册，色谱分析)，化学工业出版社
5.环境标准：
6.应急处理处置方法:

毒性
三甲基乙氯硅烷（三甲基一氯硅烷）是无色透明液体，有刺激臭味，在空气中暴露，易和潮气反应产生氯化氢。其危险特性是易燃、遇高热、明火或与氧化剂接触，有引起燃烧爆炸的危险，受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。